製品情報

半導体/精密部品製品一覧

ウェハ表面検査

  • Water-based 凝縮粒子カウンター CPC3789

    最小検出粒径2.2 nmの ウォーター型CPC PCとのリモート接続が可能

  • Water-based凝縮粒子カウンター EPC3783(WCPC)

    最小検出粒径7 nm。屋内外の環境モニタリングに。

  • ハンドヘルドパーティクルカウンター AeroTrak 9303

    軽量で持ち運びが容易なハンディータイプの粒子カウンター(3チャンネル)

  • ハンドヘルドパーティクルカウンター AeroTrak 9306

    軽量で持ち運びが容易なハンディータイプの粒子カウンター(6チャンネル)

  • ポータブルパーティクルカウンターAeroTrak 9310/9510/9350/9550

    コンパクトな卓上タイプの粒子カウンター(ISO 21501-4準拠)

  • ポータブルパーティクルカウンター AeroTrak 9110

    最小粒径0.1μmから高精度計測が可能な粒子カウンター(ISO 21501-4準拠)

  • エレクトロスプレー(軟X線型)Model 3482

  • MAGIC™ Water CPC

    5 nm~2.5 umのポータブル粒子計数器
    振動や衝撃、転倒に強い

製造装置内の発じん測定

  • Water-based 凝縮粒子カウンター CPC3789

    最小検出粒径2.2 nmの ウォーター型CPC PCとのリモート接続が可能

  • Water-based凝縮粒子カウンター EPC3783(WCPC)

    最小検出粒径7 nm。屋内外の環境モニタリングに。

  • ポータブルパーティクルカウンター AeroTrak 9110

    最小粒径0.1μmから高精度計測が可能な粒子カウンター(ISO 21501-4準拠)

  • エレクトロスプレー(軟X線型)Model 3482

  • アンダーセン型低圧カスケードインパクター MAIS-10

    分析部分の粒子捕集量増加を可能にした小型多段多孔式低圧カスケードインパクター

  • QCM-MOUDI™ Impactor

    エアロゾルの質量及び粒径分布をリアルタイムに計測可能

  • MAGIC™ Water CPC

    5 nm~2.5 umのポータブル粒子計数器
    振動や衝撃、転倒に強い

  • ナノ粒子ジェネレーター VSP-G1

    様々な元素材料を簡単にナノ粒子化!

クリーンルーム

  • ハンドヘルドパーティクルカウンター AeroTrak 9306

    軽量で持ち運びが容易なハンディータイプの粒子カウンター(6チャンネル)

  • ポータブルパーティクルカウンターAeroTrak 9310/9510/9350/9550

    コンパクトな卓上タイプの粒子カウンター(ISO 21501-4準拠)

  • ポータブルパーティクルカウンター AeroTrak 9110

    最小粒径0.1μmから高精度計測が可能な粒子カウンター(ISO 21501-4準拠)

半導体ガスフィルタ

  • 凝縮粒子カウンター(標準モデル)CPC3750

    標準型CPC。最小検出粒径7 nmに対応

  • 凝縮粒子カウンター(2.5 nm対応) CPC3756

    最小検出限界2.5 nmを可能にしたブタノール型CPC

  • 走査式モビリティーパーティクルサイザー SMPS 3938シリーズ

    DMAとCPCの自由選択で構成される走査式ナノ粒子粒径分布計測器

  • 1 nm走査式モビリティーパーティクルサイザー 1 nm SMPS 3938E57

    1 nm台まで測定可能範囲が広がった走査式ナノ粒子粒径分布計測器

  • エレクトロスプレー式粒子発生器 3480

    エレクトロスプレー法により、単分散ナノ粒子を安定して発生することが可能

スラリ/研磨剤

  • Water-based 凝縮粒子カウンター CPC3789

    最小検出粒径2.2 nmの ウォーター型CPC PCとのリモート接続が可能

  • LiquiScanシステム

    DMA法による液中 粒径分布計測装置

  • 走査式モビリティーパーティクルサイザー SMPS 3938シリーズ

    DMAとCPCの自由選択で構成される走査式ナノ粒子粒径分布計測器

  • エレクトロスプレー(軟X線型)Model 3482

  • スポットサンプラー 110Aシリーズ (Series 110A Spot Sampler)

    空間中のナノ粒子を集中的に捕集サンプリング

過酸化水素/IPA

  • LiquiScanシステム

    DMA法による液中 粒径分布計測装置