製品情報

半導体/精密部品製品一覧

ウェハ表面検査

  • Water-based 凝縮粒子カウンター CPC3789

    最小検出粒径2.2 nmの ウォーター型CPC　PCとのリモート接続が可能

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  • Water-based凝縮粒子カウンター　EPC3783（WCPC）

    最小検出粒径7 nm。屋内外の環境モニタリングに。

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  • 静電分級器 3082/LongDMA 3081A/ NanoDMA 3085A

    高分解能エアロゾル分級器
    　

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  • エレクトロスプレー（軟X線型）Model 3482

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  • 軟X線中和器 Advanced Aerosol Neutralizer Model 3088

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  • ナノ粒子ジェネレーター VSP-G1

    様々な元素材料を簡単にナノ粒子化

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製造装置内の発じん測定

  • Water-based 凝縮粒子カウンター CPC3789

    最小検出粒径2.2 nmの ウォーター型CPC　PCとのリモート接続が可能

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  • ポータブルパーティクルカウンター　AeroTrak 9110

    最小粒径0.1 μmから高精度計測が可能な粒子カウンター（ISO 21501-4準拠）

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  • 走査式モビリティーパーティクルサイザー　SMPS 3938シリーズ

    DMAとCPCの自由選択で構成される走査式ナノ粒子粒径分布計測器

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  • エレクトロスプレー（軟X線型）Model 3482

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  • アンダーセン型低圧カスケードインパクター　MAIS-10

    分析部分の粒子捕集量増加を可能にした小型多段多孔式低圧カスケードインパクター

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  • スポットサンプラー　110Aシリーズ （Series 110A Spot Sampler）

    空間中のナノ粒子を集中的に捕集サンプリング

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  • ナノ粒子ジェネレーター VSP-G1

    様々な元素材料を簡単にナノ粒子化

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クリーンルーム

  • 凝縮粒子カウンター（標準モデル）CPC3750

    標準型CPC。最小検出粒径7 nmに対応

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  • 凝縮粒子カウンター（高濃度対応）CPC3752

    高濃度の粒子測定が可能な多目的型CPC

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  • Water-based 凝縮粒子カウンター CPC3789

    最小検出粒径2.2 nmの ウォーター型CPC　PCとのリモート接続が可能

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  • 凝縮粒子カウンター（2.5 nm対応） CPC3756

    最小検出限界2.5 nmを可能にしたブタノール型CPC

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  • 携帯型凝縮粒子カウンター　CPC3007

    ハンディタイプの高性能CPC。様々な環境モニタリングに応用可能

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  • ハンドヘルドパーティクルカウンター　AeroTrak 9303

    軽量で持ち運びが容易なハンディータイプの粒子カウンター（3チャンネル）

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  • ハンドヘルドパーティクルカウンター　AeroTrak 9306

    軽量で持ち運びが容易なハンディータイプの粒子カウンター（6チャンネル）

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  • ポータブルパーティクルカウンターAeroTrak 9310/9510/9350/9550

    コンパクトな卓上タイプの粒子カウンター（ISO 21501-4準拠）

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  • ポータブルパーティクルカウンター　AeroTrak 9110

    最小粒径0.1 μmから高精度計測が可能な粒子カウンター（ISO 21501-4準拠）

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  • 1 nm走査式モビリティーパーティクルサイザー　1 nm SMPS 3938E57

    1 nm台まで測定可能範囲が広がった走査式ナノ粒子粒径分布計測器

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半導体ガスフィルタ

  • 走査式モビリティパーティクルサイザー　モデル3938W50-CEN

    欧州規格CEN/TS 17434:2020に対応した超微小粒子モニタリング用SMPS

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  • 凝縮粒子カウンター（標準モデル）CPC3750

    標準型CPC。最小検出粒径7 nmに対応

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  • 凝縮粒子カウンター（2.5 nm対応） CPC3756

    最小検出限界2.5 nmを可能にしたブタノール型CPC

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  • 走査式モビリティーパーティクルサイザー　SMPS 3938シリーズ

    DMAとCPCの自由選択で構成される走査式ナノ粒子粒径分布計測器

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  • 1 nm走査式モビリティーパーティクルサイザー　1 nm SMPS 3938E57

    1 nm台まで測定可能範囲が広がった走査式ナノ粒子粒径分布計測器

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  • 静電分級器 3082/LongDMA 3081A/ NanoDMA 3085A

    高分解能エアロゾル分級器
    　

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  • エレクトロスプレー式粒子発生器　3480

    エレクトロスプレー法により、単分散ナノ粒子を安定して発生することが可能

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湿式シングルナノ粒子径分布計測 CMPスラリ、洗浄液(超純水/IPA/過酸化水素水)

  • LiquiScanシステム

    DMA法による液中 粒径分布計測装置

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  • 走査式モビリティーパーティクルサイザー　SMPS 3938シリーズ

    DMAとCPCの自由選択で構成される走査式ナノ粒子粒径分布計測器

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  • 静電分級器 3082/LongDMA 3081A/ NanoDMA 3085A

    高分解能エアロゾル分級器
    　

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  • エレクトロスプレー（軟X線型）Model 3482

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  • 定出力エアロゾルアトマイザー　3076

    サブミクロン領域の高濃度エアロゾル粒子を安定して発生することが可能

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  • エアロゾルアトマイザー　3079A

    溶媒中からサブミクロン領域のエアロゾル粒子を発生できる噴霧式発生装置

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  • エレクトロスプレー式粒子発生器　3480

    エレクトロスプレー法により、単分散ナノ粒子を安定して発生することが可能

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  • 軟X線中和器 Advanced Aerosol Neutralizer Model 3088

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  • スポットサンプラー　110Aシリーズ （Series 110A Spot Sampler）

    空間中のナノ粒子を集中的に捕集サンプリング

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