最先端クリーンルーム

概要

最先端のクリーンルームにおいて、ナノレベルのコンタミネーションが歩留まりに非常に大きな影響を与えます。
凝縮粒子カウンターCPC技術はパーティクルカウンターでは追いきれない領域のコンタミネーションコントロールを実現します。
半導体製造現場のモニタリングに必要なナノ粒子カウント・粒径分布測定・粒子分級捕集など様々な技術を提供いたします。

ナノ粒子カウンター

CPCは核凝縮技術を用いた粒子カウンターであり、パーティクルカウンターでは測定ができないシングルナノの領域までの測定を可能にします。
インレットから吸引されたエアロゾル粒子は、Growthチューブと呼ばれる多孔式のチューブ内を通過します。 Growthチューブは冷却されたサチュ レーター部と保温されたコンデンサー部に分けられ、コンデンサー部では水蒸気がチューブ壁からチューブ中心を流れる気流へと拡散します。
水蒸気の拡散は非常に早く、コンデンサー部を過飽和状態に保っており、そこを通過するエアロゾル粒子は凝縮を始めます。
凝縮成長により大きな液滴となった粒子は光学部にて検出されます。


  • WCPC内部フロー図

  • TSI社製 Water-CPC Model 3787/3788

ナノ粒子径分布計測

SMPSモデル3938シリーズは、DMA法による粒子の電気移動度を利用した分級技術により、2.5-1000nmの粒子径レンジに対して、最大167CHのリアルタイム計測を可能にします。
DMA法はISO29463におけるHEPAフィルター効率試験などに採用されている他、大気分野・室内分野においてエアロゾル計測のスタンダード方式になります。


  • 分級装置 L-DMA3081内部フロー図

  • 走査式モビリティーパーティクルサイザーSMPS3938シリーズ

パーティクルカウンター(0.1μm~)

最小検出感度0.1μmからの高性能パーティクルカウンターや0.3μ~のスタンダードタイプなど幅広いハンディタイプのパーティクルカウンターをラインナップしています。


  • TSI社製APC9110(0.1μm~10μm)28.3LPM

粒子分級捕集(30nm~)

多段式カスケードインパクターは、多段・多孔式ジェットノズルノズルにより、エアロゾルの分級サンプリングを可能にします。
空気動動力学的粒子径として各粒子径を任意の捕集材に捉えられ、粒子サイズ毎の重量評価や化学分析への応用が期待されます。


  • MAIS-10における各捕集段に捕集される50%カットオフ径

  • 捕集イメージ