本資料では、SEMI F70-0320の測定に適した粒子計測器を紹介いたします。
試験対象: チューブ、フィッティング継手、バルブ、レギュレーター、フィルタ、MFC等

一般的なパーティクルカウンター(LPC)の最小検出粒子径は0.1~0.3μmですが、近年より小さいパーティクルの計測が求められて来ております。CPC(CNC)というカウンターであれば、ナノレベルから計測可能です。


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