半導体用ガスフィルタ性能評価に適した機器の紹介

半導体用ガスフィルタの捕集効率は、SEMIスタンダードで性能評価の試験方法が規定されています。(SEMI F39-0699)
本資料では、性能評価に使用可能な装置を紹介いたします。

試験の流れ
① 試験粒子を発生(NaClなど)
② 試験粒子を評価サイズに分級(0.05μmなど)

③ 試験粒子を中和

④ 試験粒子を安定
⑤ 試験ガスフィルタ
⑥ フィルター上流/下流の粒子数を計数
⑦ 計数結果から効率を算出

凝縮粒子カウンターCPC(CNC)

• リアルタイムに粒子個数濃度を検出


• 最小1nm~ ナノ粒子を計数可能

 検出可能サイズはモデルにより異なります


• ガスフィルタの上流/下流を計測しナノ粒子に対する

 効率評価が可能


• ナノ粒子の計測器として世界的に標準機器として使されている


• HEPA/ULPAといった高性能フィルタの性能評価でも 広く活用

静電分級器(DMA)

• 発生した粒子を分級、単分散化


• 粒径範囲(分級器として)
 Long DMA (3081A):8~1150nm
 Nano DMA (3085A):1.5~150nm
 1nm DMA (3086 ):1~50nm


• 粒径範囲(SMPSとして)
 Long DMA (3081A):10~1000nm
 Nano DMA (3085A):2~150nm
 1nm DMA (3086) :1~50nm

粒径分布計測器(SMPS)

• 静電分級器(DMA)と凝縮粒子カウンター(CPC)を組合せる事で最小1nm~粒径分布の測定が可能

ナノ粒子発生器

• 単分散ナノ粒子の安定発生が可能


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