VSP-P1を用いた先進ガスセンサ開発向けナノ多孔質積層技術に関する資料を公開しました
※東京ダイレックは、VSParticle社(オランダ国デルフト)の日本国内代理店です。
VSParticle社は、金属酸化物（MOx）センシング材料からなるナノ多孔質層を微小電気機械システム（MEMS）基板上に直接堆積させる革新的な技術を開発しました。この先進的な手法は、感度と選択性を向上させ、環境モニタリングや産業安全、ヘルスケア、農業、防衛、民生機器といった分野における重要な課題の解決に貢献します。
金属酸化物半導体（MOS）材料を用いた高性能ガスセンサにおける課題に対し、ナノ粒子プリンタVSP-P1はナノ多孔質材料の積層を精密に制御し、多種多様なMOSを迅速に製造することができるため、ガスセンシング技術におけるイノベーションを加速させます。
