「セミコンジャパン2021」に出展します。

 

 

セミコンジャパンは半導体産業における製造技術、装置、材料をはじめ、車やIoT機器などのSMARTアプリケーションまでをカバーするエレクトロニクス製造サプライチェーン唯一の国際展示会です。

弊社は、特徴的なナノ粒子発生及び計測技術により、気中および液中微粒子に対するシングルナノレベルからの測定を提案致します。

今回は、東京ビッグサイトにて開催されますセミコンジャパン2021前工程ゾーンに出展し、半導体分野向けナノからの微粒子発生/計測装置を提案致します。これに加え、新型コロナウイルス対策パビリオンでは、感染対策などに有効と考えられるモニタリング及び捕集装置を紹介致します。

 

 

【出展情報】

　開催日時：2021年12月15日（水）～17日（金）　10:00 ～17:00

　開催場所：東京ビックサイト

 

　出展ブース①：3ホール・前工程ゾーン（製造イノベーション）

　ブース番号：3435

　　　（※画像をクリックすると拡大します）

 

【出展社ページ】

https://expo.semi.org/japan2021/Public/eBooth.aspx?IndexInList=14&FromPage=Exhibitors.aspx&ParentBoothID=&ListByBooth=true&BoothID=463280

 

 

　出展ブース②：3ホール・前工程ゾーン（新型コロナウイルス対策）

　ブース番号：3208

　　（※画像をクリックすると拡大します）

 

【出展社ページ】

https://expo.semi.org/japan2021/Public/eBooth.aspx?IndexInList=15&FromPage=Exhibitors.aspx&ParentBoothID=&ListByBooth=true&BoothID=503559

 

 

【展示製品情報】

 

～半導体分野向けナノからの微粒子発生/計測装置～

微分型電気移動度法（DMA法）によりIPA、過酸化水素水などの液中コンタミや、CMPスラリ・高分子サンプルなどの溶液をシングルナノレンジから高分解能個数評価が可能。気中のナノ粒子計測もご相談下さい。

 

• エレクトロスプレー（軟X線型）Model 3482

  

• 走査式モビリティーパーティクルサイザー SMPS3938シリーズ

  DMAとCPCの自由選択で構成される走査式ナノ粒子粒径分布計測器

 

 

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✓ウェハ表面検査・洗浄性能試験

✓半導体製造装置内におけるコンタミ測定

✓半導体用ガスフィルタ性能評価試験

✓スラリ/研磨剤粒径評価

✓過酸化水素水/IPA中コンタミ計測

 

 

～新型コロナウイルス対策～

エアロゾル感染リスクを指摘した報告書による防止策としては、効果の⾼い換気/⾼機能の空調フィルターや紫外線殺菌の導入/公共交通機関や公共スペースでの過密防止を提案されました。また、ウイルスの感染リスクに影響すると考えられるパラメータは、温度・相対湿度・粒子数濃度・CO₂濃度と挙げられます。上記のパラメータを計測できる装置を紹介致します。

 

• 室内空気質 / 屋外大気質モニタ　AQ Guard / AQ Guard Ambient

  
  感染リスク指数を測定可能な空気質モニタ

• ECOMSMART

  
  環境空気質をモニタリング

• バイオエアロゾルサンプラー BSS302 BioSpot-GEM™ Bioaerosol Sampler

  
  PCR検査用 空間中のウイルス粒子を捕集

 

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ご不明な点がありましたら〔お問い合わせページ〕、または、問い合わせメール〔info@tokyo-dylec.co.jp〕にご連絡ください。

コロナウイルスの感染拡大防止に最大限の注意を払い、皆様のご来場をお待ちしております。